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Carga de un nuevo horno PECVD para depósito de capas dieléctricas delgadas @ IMB-CNM

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20 de abril de 2021

La Sala Blanca del Centro Nacional de Microelectrónica está ampliando sus equipamientos con cofinanciación de fondos FEDER

La Sala Blanca Integrada de Micro y Nano Fabricación del Centro Nacional de Microelectrónica (CNM) del Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC) forma parte de la Infraestructura Científica y Técnica Singular (ICTS) MICRONANOFABS, incluida en el Mapa de ICTS vigente, aprobado por el Consejo de Política Científica, Tecnológica y de Innovación el 6 de noviembre de 2018. Esta ICTS se constituye con el fin de coordinar y aglutinar los recursos existentes de una serie de infraestructuras geográficamente distribuidas y de titularidad pública diversa, que forman un conjunto de capacidades singular y estratégico en España en el ámbito de la microelectrónica, nanoelectrónica, optoelectrónica, fotónica y sus aplicaciones, ofreciendo mecanismos de acceso abierto competitivo de forma coordinada a fin de incrementar la masa crítica, mejorar la competitividad nacional, y evitar duplicidades y redundancias.

Esta Sala Blanca fue creada en 1985 como parte fundamental del centro de investigación CNM. Desde el punto de vista tecnológico, ha ido evolucionando e incorporando nuevas familias de tecnologías con la necesidad de mantener los equipos y las infraestructuras existentes completamente operativas, así como mejorarlas para ampliar la capacidad de fabricación y la adaptación a las nuevas necesidades de la investigación y de la industria. Todo ello le ha dado un rango de aplicaciones muy amplio, siendo la principal instalación de nuestro país en la que es posible fabricar dispositivos y circuitos integrados completos en tecnologías de semiconductores de silicio y carburo de silicio, además de sensores, dispositivos micro-nanoelectromecánicos y sistemas electrónicos capaces de explotar las capacidades combinadas de las micro y nanotecnologías.

Con el objeto de modernizar, consolidar, ampliar y evolucionar las infraestructuras para las micro y nanotecnologías de la Sala Blanca del IMB-CNM – CSIC, se firmaron dos convenios entre el Ministerio de Ciencia e Innovación y el CSIC en los que se establecen los términos de la aplicación de fondos europeos para estas actuaciones. En conjunto, el presupuesto total es de 14,7 millones de euros, el 50% de los cuales están financiados con fondos del Fondo Europeo de Desarrollo Regional (FEDER) correspondientes al Programa Operativo Plurirregional de España 2014‐2020, asignados a la Secretaría General de Investigación del Ministerio de Ciencia e Innovación destinados a financiar proyectos y actuaciones relacionados con infraestructuras incluidas en el Mapa de ICTS vigente. El 50 % restante es aportado por el CSIC.

Estas operaciones suponen dotarse de la más completa tecnología en este campo, permitiendo operar con nuevos materiales (bio)compatibles y nuevos tipos de substratos y de diferentes tamaños, ventajas que son de gran importancia para aplicaciones de los dispositivos en campos tan diversos como Biotecnología, seguridad, medio ambiente, alimentación, energía y movilidad, comunicaciones y electrónica de consumo.

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