Red de Salas Blancas de Micro y Nano Fabricación (MICRONANOFABS)

Red de Salas Blancas de Micro y Nanofabricación (MICRONANOFABS)

Esta ICTS distribuida se compone de tres infraestructuras: 

Infraestructura de Micro y Nano Fabricación del Centro de Tecnología Nano Fotónica de la Universidad Politécnica de Valencia 

Esta instalación dispone de una línea completa de micro-nano fabricación de dispositivos integrados sobre obleas de silicio (150 mm), ubicada en una sala limpia de 500 m2 que incluye las capacidades tecnológicas siguientes: litografía óptica (alineadores de máscaras y steppers) y de escritura directa por cañón de electrones, deposición de resinas y revelador, deposición de dieléctricos y metales, ataques químicos (húmedo y seco), implantador iónico, etc. Igualmente, se dispone de un laboratorio completo de ensamblado y encapsulado de componentes fotónicos integrados, laboratorios de caracterización física y óptica de dispositivos, así como un laboratorio de caracterización de sistemas y redes ópticas. 

Central de Tecnología del Instituto de Sistemas Opto-electrónicos de la Universidad Politécnica de Madrid 

El equipamiento y la instrumentación avanzada de esta instalación permiten la fabricación de materiales electrónicos distintos del silicio, su procesado tecnológico y la obtención de dispositivos y estructuras integradas de tipo electrónico, óptico, optoelectrónico y magnético. Gracias a su sistema de litografía por haz de electrones, es posible realizar estructuras de tamaño micrométrico y nanométrico. Las instalaciones constan de 400 m2 de salas limpias, 300 m2 de laboratorios de caracterización y 200 m2 de laboratorios de instrumentación y electrónica. 

Sala Blanca Integrada de Micro y Nano Fabricación del Centro Nacional de Microelectrónica del CSIC ​​​​​​​

El rango de aplicaciones que se pueden cubrir en esta instalación es muy amplio, incluyendo las biomédicas, el medio ambiente, la alimentación, la energía y la movilidad, la seguridad, las comunicaciones y la electrónica de consumo, etc. Para estas aplicaciones las principales implementaciones que ofrecen son dispositivos semiconductores incluyendo los dispositivos de potencia y los detectores de radiación, sensores, actuadores y MEMS (Microelectromechanical Systems), dispositivos y actuadores de nano escala y sistemas de Laboratorio en un Chip y los dispositivos poliméricos.

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Contacto

Red de Salas Blancas de Micro y Nano Fabricación (MICRONANOFABS)

Campus Universidad Autónoma de Barcelona. 08193 Bellaterra

info@micronanofabs.org

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